在醫療領域應（yīng）用的等離子體滅菌技術（shù）於20世（shì）紀80年代始於美（měi）國，Menashi等首先提出鹵素類氣體等離子體具有很強的殺（shā）菌作用，可（kě）用於非耐熱醫療器械的（de）快速滅菌，低溫等離子體滅菌技（jì）術1987年獲得。
美國強生公司研製（zhì）的Starrad 100S*等（děng）離（lí）子體滅菌器，於1997年經FDA批準上市。現已在歐（ōu）美、日本等發達（dá）國家醫療機構微創手術中廣泛使（shǐ）用（yòng）。
2004年開始在我國推廣宣（xuān）傳，已有幾（jǐ）十家大型醫療單位開始使用。由此也使得等離子體低溫滅菌技術在我國醫（yī）療領域的使用得到廣泛的認同。